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真空熱壓燒結(jié)爐主要用于半導(dǎo)體元器件嗎?

2019-01-16 00:00:00

真空熱壓燒結(jié)爐主要用于半導(dǎo)體元器件及電力整流器件的燒結(jié)工藝,可進(jìn)行真空燒結(jié),氣體保護(hù)燒結(jié)及常規(guī)燒結(jié),是半導(dǎo)體專用設(shè)備系列中一種新穎的工藝裝備,它設(shè)計構(gòu)思新穎,操作方便,結(jié)構(gòu)緊湊,在一臺設(shè)備上可完成多個工藝流程。

爐外發(fā)生漏水,冷卻水量異常時,應(yīng)盡快采取應(yīng)急措施,如能保證水量,請繼續(xù)保持真空,如不能采取應(yīng)急措施,保持原狀,確認(rèn)設(shè)備冷卻下來。

冷卻水發(fā)生異常時,設(shè)備處于停止?fàn)顟B(tài),馬上接通緊急用冷卻水。

在高溫(超過200℃即視為高溫)時,如果冷卻水停止了,如果不能緊急送水,水冷電極、換熱器、真空室殼體及各泵可能被損壞。

如果在非升溫、加熱和冷卻時,能夠盡快恢復(fù)時,重新啟動設(shè)備,繼續(xù)運轉(zhuǎn)如需要較長時間,則將設(shè)備保持原狀。

如果正在加熱和冷卻時,能夠盡快恢復(fù)時,重新啟動設(shè)備,如果需要較長時間時,則保持原狀,讓設(shè)備自然冷卻下來。

真空熱壓燒結(jié)爐


真空燒結(jié)爐主要用于半導(dǎo)體元器件及電力整流器件的燒結(jié)工藝,可進(jìn)行真空燒結(jié),氣體保護(hù)燒結(jié)及常規(guī)燒結(jié)。是半導(dǎo)體專用設(shè)備系列中一種新穎的工藝裝備,它設(shè)計構(gòu)思新穎,操作方便,結(jié)構(gòu)緊湊,在一臺設(shè)備上可完成多個工藝流程。

真空燒結(jié)爐的日常使用技巧:

檢查控制柜中所有部件及配件是否完備、完好。

控制柜安裝在相應(yīng)的地基上,并固定。

安照接線圖,并參考電氣原理圖,接通外接主回路及控制回路,并可靠接地,保證接線無誤。

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